四合一測量技術(shù)的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當前測量任務的最佳技術(shù)。在S neox傳感器頭中配置四種測量技術(shù)——共聚焦，干涉，AI多焦面疊加，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻，并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點。S neox是所有實驗室的理想之選，適用范圍廣泛。
AI多焦面疊加
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學技術(shù)。這項技術(shù)基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點已經(jīng)得到了改進。該技術(shù)的亮點包括高斜率表面（高達86°），最快的速度（3mm/s）和較大的垂直范圍測量。
共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率，最高可達0.15μm水平分辨率，空間采樣可減少到0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA（0.95）和放大倍率（150X）的物鏡可用于測量局部斜率超過70°的光滑表面。對于粗糙表面，最高可允許86°。獨家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。
干涉
PSI 相移干涉法，可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度。可以使用極低的放大率（2.5X）測量具有相同高度分辨率的大視場。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達到1nm的高度分辨率。
薄膜
薄膜測量技術(shù)快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到最佳擬合。可以在不到一秒鐘的時間內(nèi)測量出50nm到1.5μm的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，最小可低至0.5μm，最高可達40μm。
